記者從電子科技大學(xué)獲悉，由該校牽頭申報(bào)的國(guó)家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃“戰(zhàn)略性先進(jìn)電子材料”專項(xiàng)項(xiàng)目“高性能無(wú)源敏感薄膜材料Si基異質(zhì)異構(gòu)集成方法及傳感器芯片研發(fā)”獲批立項(xiàng)。該項(xiàng)目由電子科大微電子與固體電子學(xué)院張萬(wàn)里教授作為項(xiàng)目負(fù)責(zé)人，聯(lián)合中國(guó)電科26所、中國(guó)電科24所，中科院新疆理化所、中科院上海微系統(tǒng)所、西安微電子所、華中科技大學(xué)、蘇州大學(xué)以及貴州雅光電子等10余家科研院所、大學(xué)、企業(yè)共同研制。據(jù)悉，這是該校牽頭獲得的首個(gè)上億元的國(guó)家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃項(xiàng)目，項(xiàng)目總預(yù)算達(dá)11705萬(wàn)元。
據(jù)了解，該項(xiàng)目從傳感器芯片領(lǐng)域的關(guān)鍵科學(xué)問(wèn)題和重大共性關(guān)鍵技術(shù)出發(fā)，研究高性能無(wú)源敏感薄膜材料的制備方法和傳感器與集成電路的集成技術(shù)，實(shí)現(xiàn)硅基晶圓上無(wú)源敏感薄膜的可控制備和傳感器芯片的集成加工，研制出磁阻、紅外氣體、海洋測(cè)溫、液體黏度等硅基傳感器芯片，并在工業(yè)控制、海洋水文、安全生產(chǎn)等領(lǐng)域示范應(yīng)用。“該項(xiàng)目的立項(xiàng)，體現(xiàn)了我校在電子薄膜材料及器件集成技術(shù)等領(lǐng)域的能力和實(shí)力，將進(jìn)一步提升我校材料、器件研究水平，打通‘材料制備－器件集成－系統(tǒng)應(yīng)用’全鏈條。”據(jù)該校宣傳部相關(guān)負(fù)責(zé)人介紹，該研究成果將在促進(jìn)傳感器產(chǎn)品升級(jí)換代，助推新興產(chǎn)業(yè)、推動(dòng)軍民融合和培養(yǎng)電子材料與器件復(fù)合人才等方面產(chǎn)生顯著效益。
